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    高真空快速CVD系統

    高真空快速CVD系統

    587
    規格/型號：OTF-1200X-4-RTP-C3HV
    品牌：科晶智達
    應用領域：冶金
    產地：廣東 - 深圳
    廠家/供應商：廣東科晶智達科技有限公司
    咨詢電話:：無（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-01-26
    級別：待認證

    高真空快速CVD系統說明介紹

    高真空快速CVD系統OTF-1200X-4-RTP-C3HV

    高真空快速CVD系統OTF-1200X-4-RTP-C3HV


    型號:OTF-1200X-4-RTP-C3HV

    產地:廣東

    產品介紹

    高真空快速CVD系統OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統和高真空機組組成，可進行半導體基片、太陽能電池及其它樣品（尺寸可達3″ ）的退火，并采用 10KW的紅外燈進行加熱，最快升溫速度可達 120℃/s，配有RS485 接口，可以通過控制軟件在計算機上控制運行并顯示溫度曲線。

    產品型號

    高真空快速CVD系統OTF-1200X-4-RTP-C3HV

    安裝條件

    本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

    1、水：不需要

    2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

    3、氣：設備腔室內需充注氣體，需自備氣瓶氣源

    4、工作臺：尺寸1600mm×600mm×700mm，承重150kg以上

    5、通風裝置：需要

    主要特點

    1、雙層Al2O3纖維鋼構，無需水冷或風冷。

    2、內爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層，可以提高設備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

    3、PID控制器，可以設置30段升降溫程序，并設有過熱保護和斷偶功能。

    4、已通過CE認證。

    技術參數

    1、電源：單相208V-240V AC 50Hz/60Hz 10KW

    2、石英管：外徑?110mm，內徑?103mm，長380mm

    3、加熱元件：8根紅外燈管，燈絲長200mm，絲圈?10mm，燈長300mm

    4、加熱區：300mm

    5、工作溫度：最高溫度1100℃

    6、控溫精度：±0.5℃

    7、最高升溫速度：RT-800℃時為50℃/s，800℃-1000℃時為10℃/s

    8、溫控儀：可控硅（SCR）PID自動控制

    9、真空法蘭：不銹鋼，帶有水冷接口和針閥，雙層高溫O型圈密封，長時間在>900℃條件下運行必須采用水 冷，循環水流量為0.5m3/hr

    10、真空度：10-2torr（機械泵），10-5torr（分子泵）

    11、質量流量計：3個，MFC1范圍0-100sccm，MFC2范圍0-200sccm，MFC3范圍0-500sccm，精度1±%FS

    12、混氣罐：?80mm×120mm

    產品規格

    尺寸：爐體760mm×330mm×530mm，真空混氣系統600mm×600mm×597mm

    重量：爐體45kg，真空混氣系統75kg
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    標簽：
    高真空快速CVD系統 冶金設備
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    廣東科晶智達科技有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    冶金
    企業性質：
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    經營范圍：
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    無
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