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    高真空管式氮化爐

    高真空管式氮化爐

    463
    規格/型號:暫無
    品牌:沈陽騰鰲
    應用領域:冶金
    產地:遼寧 - 沈陽
    廠家/供應商:沈陽騰鰲真空技術有限公司
    咨詢電話::13804984297(請說明信息源自“中冶有色網”)
    更新時間:2025-01-30
    級別:待認證

    高真空管式氮化爐說明介紹

    高真空管式氮化爐

    高真空管式氮化爐


    系統主要技術指標:

    1、總體結構:采用臥式管式外加熱爐結構,管式爐左端為抽氣系統,右端為手套箱系統;整機安裝在可移動臺架上。

    2、系統極限真空度:7x10-pa;工作真空度:5x10-pa,抽真空時間<2h(分子泵滿轉開始計時);系統漏率:1x107PaL/s。

    3、抽氣系統:

    采用國產分子泵與機械泵組成抽氣系統,配有國產閥門、管道、真空計等。

    4、臥式管式真空室以及加熱控溫:采用管式外加熱方式,管式真空室內經中250m,加熱部分長約550m,加熱溫度范圍:室溫~450℃,樣品表面溫度250;均勻區:軸向長度250mm,控溫精度為:10℃℃。

    5、工件系統:

    5.1、樣品臺通過文架安裝在真空室門上,工作時樣品臺位于均溫區中心,樣品為圓形薄片,厚度3m,直徑<100mm;

    5.2、樣品與真空室絕緣,耐壓能力高于3000V
    5.3、移動:真空室門手動開關,通過支架帶動樣品臺進出真空室;

    5.4、偏壓通過電纜引入樣品臺底部,經過不銹鋼電極接觸樣品下表面

    5.5、樣品與樣品臺良好接觸避免打火;5.6、樣品臺及實驗樣品的加熱通過爐壁傳熱來實現。樣品臺及樣品的加熱溫度(加熱爐加熱時)范圍在室溫~250℃。

    6、偏壓電源:5KW,電壓最大2kv,占空比10%-80%可調脈沖頻率40~60KHZ可調。具有過流、過熱、缺水、打火保護及自動滅弧功能。

    7、手套箱:

    7.1、手套箱采用無額頭二工位雙面操作薄壁手套箱,左側面設計真空室對接連接口,右側帶有樣品進出接口法蘭,上部帶有排氣口。(按照最終設計為準);

    7.2、手套箱總長1274mm,高729mm,寬700mm;

    7.3、手套箱底部安裝軌道與真空室門支架連接,實現真空室門的開關和樣品臺進出操作

    8、氣路系統:工藝氣體為N、Ar;通過兩路國產質量流量計控制進氣。

    9、系統配有冷卻循環水裝置。

    10、系統具有斷水斷電聯鎖保護功能。
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    沈陽騰鰲真空技術有限公司
    企業認證:
      
    所屬領域:
    冶金
    企業性質:
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