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    高真空電阻熱蒸發系統

    高真空電阻熱蒸發系統

    458
    規格/型號：暫無
    品牌：歐特真空
    應用領域：冶金
    產地：遼寧 - 沈陽
    廠家/供應商：沈陽歐特真空科技有限公司
    咨詢電話:：13998100263（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-02-17
    級別：待認證

    高真空電阻熱蒸發系統說明介紹

    高真空電阻熱蒸發系統

    高真空電阻熱蒸發系統


    高真空電阻熱蒸發系統是一種專為冶金和材料科學領域設計的先進設備，它在高真空環境下進行材料的蒸發和沉積，廣泛應用于制備薄膜、納米材料以及進行材料表面改性等。該系統由高真空獲得與測量系統、樣品臺或工件轉架系統、有機（OLED）/金屬蒸發源系統及電氣控制系統等四部分組成，確保了蒸發過程的精確控制和高效進行。

    在冶金行業中，高真空電阻熱蒸發系統可以用來制備高性能的金屬薄膜，這些薄膜可以用于制造高性能的催化劑、傳感器和電子器件。此外，該系統還可以用于修復和保護金屬表面，提高材料的耐腐蝕性和耐磨性，從而延長材料的使用壽命。

    高真空機組采用復合分子泵和機械泵組成，能夠達到極限真空度≤6.7×10^-5Pa，漏率≤10^-7Pa·L/s，為蒸發過程提供了理想的高真空環境。樣品臺或工件轉架系統可以根據工藝需要靈活定制所需功能，多種蒸發源可選，全部模塊化設計，標準接口法蘭，可選配膜厚控制儀，進行在線測量和監控。

    電氣控制系統具有多種報警功能，能及時提示故障情況，保障設備安全運行?？蛇x配工藝系統如手套箱工作站、樣品預處理室、自動樣品庫等，進一步增強了設備的靈活性和自動化程度。這些特點使得高真空電阻熱蒸發系統成為冶金行業中不可或缺的重要工具，為材料科學的發展和工業應用提供了強有力的技術支持。

    一、設備主要功能及組成

    1.設備主要由高真空獲得與測量系統、樣品臺或工件轉架系統、有機（OLED）/金屬蒸發源系統及電氣控制系統等四部分組成。

    2.高真空機組采用復合分子泵和機械泵組成。

    3.樣品臺或工件轉架系統可根據工藝需要靈活定制所需功能。

    4.多種蒸發源可選，全部模塊化設計，標準接口法蘭。

    5.可選配膜厚控制儀，進行在線測量和監控。

    6.電氣控制系統具有多種報警功能，能及時提示故障情況，保障設備安全運行。

    二、主要技術參數

    1．真空室尺寸：?450、?540、?650、?750、?1000、?1200（定制）

    2．極限真空度：≤6.7×10-5Pa

    3．漏率：≤10-7Pa·L/s

    4．可選蒸發源：鎢絲蒸發舟、鉭蒸發舟、可控溫有機束源爐等

    5．樣品臺：可在線升降、旋轉、襯底加熱、OLED可做在線多次無間隙掩膜

    6．工件轉架：三軸聯動（公轉、自轉、單樣品自轉），增強鍍膜均勻性，可加熱

    7．可選配工藝系統：手套箱工作站、樣品預處理室、自動樣品庫等

    8．供電電源：380V50Hz（三相五線制）

    9．進水排管徑：DN25

    10．工作水壓：0.2Mpa
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    高真空電阻熱蒸發系統 冶金設備
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    沈陽歐特真空科技有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    冶金
    企業性質：
    -
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    -
    聯系電話：
    13998100263
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