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    立式化學氣相沉積爐（SiC、BN）

    立式化學氣相沉積爐（SiC、BN）

    464
    規格/型號：VCVD-0305-SIC
    品牌：頂立科技
    應用領域：冶金
    產地：湖南 - 長沙
    廠家/供應商：湖南頂立科技股份有限公司
    咨詢電話:：4006770098（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-02-18
    級別：待認證

    立式化學氣相沉積爐（SiC、BN）說明介紹

    立式化學氣相沉積爐（SiC、BN）

    立式化學氣相沉積爐（SiC、BN）


    立式化學氣相沉積爐（SiC、BN）是專為冶金及材料科學領域設計的高端設備，廣泛應用于外延片基座、晶體爐高溫耐材、熱彎模具、半導體坩堝、陶瓷基復合材料等的表面涂層、基體改性及復合材料制備。設備采用先進的控制技術，能夠精密調控MTS流量和壓力，確保爐膛內沉積氣流穩定，壓力波動極小。其全密閉沉積室密封效果好，抗污染能力強，多通道工藝氣路設計實現流場均勻，無沉積死角，沉積效果優異。此外，設備配備多級高效尾氣處理系統，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物，環境友好且安全可靠。最高溫度可達1500℃，溫控精度為±5℃，適配真空、CH?、H?、N?、Ar、BCI?、NH?、MTS等多種工藝氣氛，滿足復雜的冶金及材料制備需求。

    核心參數

    非金屬電熱元件：其他

    金屬電熱元件：其他

    燒結氣氛：真空

    溫控精度：±5

    最高溫度：1500

    額定溫度：1500

    產品描述：

    立式化學氣相沉積爐（SiC、BN）可用于材料的表面涂層、基體改性、復合材料制備等

    應用范圍：

    外延片基座、晶體爐高溫耐材、熱彎模具、半導體坩堝、陶瓷基復合材料等

    技術特征

    采用先進的控制技術，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內沉積氣流穩定，壓力波動范圍??；

    全密閉沉積室，密封效果好，抗污染能力強；

    多通道工藝氣路，流場均勻，無沉積死角，沉積效果好；

    多級高效尾氣處理系統，能有效處理高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點粘性產物，環境友好；

    可選配新設計的防腐蝕真空機組，持續工作時間長，維修率極低；

    使用工藝氣氛：真空/CH4/H2/N2/Ar/BCI3/NH3/MTS。

    產品規格

    立式化學氣相沉積爐（SiC、BN）

    配置選擇

    結構形式：臥式-單開門/雙開門；立式-上出料/下出料

    爐門鎖緊方式：手動/自動

    爐殼材質：內層不銹鋼/全不銹鋼

    保溫材質：碳氈/石墨氈/碳纖維固化氈/陶瓷纖維氈

    加熱器、馬弗材質：石墨/CFC/金屬

    熱電偶：K/N/C/S分度號

    真空泵：機械泵組/耐腐蝕泵組

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    湖南頂立科技股份有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    冶金
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    4006770098
    詳細地址：
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