BC?光斑激光開膜設備:
采用海目星自研光源激光技術作為底層架構,利用通過激光在電池表面對掩膜進行刻蝕,利用該技術實現高效背接觸電池(XBC)的圖形化生產,實現替代傳統光刻技術,快速、低損、高效去膜。
產品優勢:
整機采用工業 PC 控制、模塊化柔性化編程設計;
設備實現雙線供上/下料,操作方便;
滿足 AGV 雙層雙線同步上/下料,減少 AGV 對接需求及機臺數量 ;
根據客戶需求定制,實現無損、高產能、高精度、高效率 ;
高精度視覺定位,高速柔性機構傳輸 ;
加工過程,硅片自動傳輸 快速、低損、高效去膜;
除塵結構內部流場的最優解,對粉塵攜帶能力強;
高精準性以防止電池漏電,降低成本;
更細小的電池單位結構,更小的金屬接觸開孔和更靈活的設計;
基本信息:
運行模式:離線
設備尺寸(長×寬×高mm):5500*3000*2550(不包含三色燈,除塵機,冷水機)
適用硅片尺寸(mm):182*182-230*230
適用硅片厚度(um):≥110um
上下料方式:手動上下料/AGV上下料
產品性能:
圖形精度:±15um
對準精度:≤±15um@182@mark點;≤±25um@182@輪廓
設備產能:>4000pcs/h
碎片率:≤0.03%