COV型真空爐,其特點在于加熱器和由石墨或碳碳復合纖維制成以及墨氈制成的隔熱層,是用于高溫工藝的電阻加熱批次爐系統。為氮化硼,
碳化硅,氮化硅和熱解碳等應用提供非標定制CVD/CVI反應爐以及氟離子清洗 & CVA 爐。提供定制化陶瓷基
復合材料的化學氣相沉積(CVD和CVI)交鑰匙系統和解決方案。
石墨純化爐
首先在真空條件下對批量產品進行高溫純化,在該過程中,揮發性成分經高溫釋放揮發。下一步處理使用鹵素氣體,確保氯和氟在工藝中作為有效的反應物。典型的最高工藝溫度為2200℃,但在個別情況下可以達到2400℃。
在這種極端的工藝條件下,必須要最大限度地考慮安全問題,并精準了解所用材料的確切特性。
在選擇所用的材料和部件時要考慮到反應性氣氛,以確保系統具有盡可能長的使用壽命。
為了確保符合德國TA Luft空氣質量法規等標準,使用的工藝氣體及其反應產物作為廢氣排放前需要進行后處理。這種后處理通常由一個氣體洗滌器來完成。
CVD/CVI/CVA涂層爐
為了給石墨部件涂層,前驅體被引入反應爐室,在某些時候需要以液體形式進行計量。這些前體在反應室中分解成活性成分,然后這些成分在爐內氣氛的條件下作為功能性涂層沉積在部件上。工藝溫度通常高達1800℃。
涂層工藝要獲得成功,需仔細考量有效空間內的溫度分布,氣體流動以及工藝氣體中與位置有關的溫度。
為了確保符合德國TA Luft空氣質量法規等標準,使用的工藝氣體及其反應產物需要對廢氣進行后處理。該后處理一般通過使用氣體洗滌器進行。