氧化亞硅燒結爐
適用于電池負極材料、氧化亞硅等可氣相沉積材料大批量生產,具備高真空升華,反應,脫脂,脫水,氣相沉積材料自動研磨刮料,爐內收集等特殊工藝能力。
適用于氧化亞硅等可氣相沉積材料大批量生產;溫差控制精度高,高溫高真空;具備高真空升華,反應,脫脂,脫水,氣相沉積材料自動研磨刮料,爐內收集等特殊工藝能力。
設備特點:
一次裝料量大, 生產效率高。
全程全封閉全自動化作業,避免粉塵飛揚,生產現場環境整潔干凈。
溫度控制1500度以內,升溫速率快。
可以在真空度下保持穩定運行工作。
設備參數:
爐型結構:臥式
恒溫區尺寸:Φ500mm*600mm、中600mm*800mm、Φ700mm*1000mm、Ф800mm*1600mm 等尺寸(可按客戶需求定制)
爐體:由內外雙層水冷結構,與冷卻水接觸部分采用304不銹鋼制作,有效防止爐體長時間使用漏氣現象
升華系統:由加熱區和收集區組成,加熱區由感應線圈、重質剛玉、石墨硬氈、等靜壓石墨組成;收集區由 310S 不銹鋼及保溫層組成
溫控系統:采用 PLC 觸屏集中控制方式,自動化控制,帶網口,可實現遠程控制
加熱系統:采用感應加熱,電源采用IGBT節能型電源,噪音小,比傳統晶閘管電源節能15%左右
真空系統:由多級真空泵、真空閥,壓力控制器及管路組成
冷卻系統:配置閉式冷卻系統,內循環用去離子水,不會造成設備管路結垢,內循環水損失小,外循環用自來水,自動補水,風機自啟動散熱;散熱效果好,集成環保,占地面積小等特點
設備由升華系統、收集系統、加熱系統、溫控系統、真空系統、機械系統、冷卻系統組成。