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    中試-量產 電子束蒸鍍機

    中試-量產 電子束蒸鍍機

    445
    規格/型號：DE400P
    品牌：德儀天力
    應用領域：材料制備
    產地：北京 - 北京
    廠家/供應商：北京德儀天力科技發展有限公司
    咨詢電話:：010-67832716/17（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-04-02
    級別：待認證

    中試-量產 電子束蒸鍍機說明介紹

    中試-量產 電子束蒸鍍機

    DE400P電子束蒸發鍍膜系統配備電子束蒸發源或熱阻蒸發源，用于沉積金屬或介質薄膜及lift-off工藝薄膜沉積。用于批量生產。

    特點

    可蒸鍍金屬、半導體、介質材料及磁性材料

    制備LIFT-OFF工藝薄膜

    薄膜蒸鍍在光柵頂部與底部，側面無薄膜沉積

    不銹鋼腔體

    可選RF等離子體或離子源基片清洗

    可選基片氧化

    整套系統通過工控機和PLC實現全自動控制

    主要配置

    鍍膜腔體：不銹鋼腔體

    真空泵：分子泵(或冷凝泵)和干泵

    真空閥：高真空插板閥

    真空測量：寬量程真空計

    鍍膜源：多坩堝電子槍、高壓電源和束斑掃描器

    基片臺：裝片能力如下描述

    薄膜監控：晶振膜厚/速率監控

    鍍膜室主要技術指標

    極限真空壓力：<5E-8Torr

    大氣抽至5E-7Torr時間：<40分鐘

    基片尺寸：可選：2英寸、4英寸、6英寸、8英寸、12英寸

    片內膜厚均勻性：≤+/-3%

    片間膜厚重復性：≤+/-2%

    裝片能力

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    標簽：
    電子束蒸鍍機
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    北京德儀天力科技發展有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    材料制備
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    010-67832716/17
    詳細地址：
    -

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