設備名稱
激光摻硼設備
設備型號
SC-CP02L/RA
設備用途
調用激光的方式作用于硼硅玻璃(BSG)表面,形成重摻,作為配套生產選擇性發射電極(SE)電池。
工藝流程 Process Flow
上料→ 拍照定位→ 加工→ 下料
深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司激光摻硼設備技術特點如下:
1、產能大于8000片/小時(M10硅片);Ct分解: 0.9s=(激光時間1.6s+激光切換時間0.2s)/2,即1.8s出2片。
2、激光器、掃描振鏡,場鏡及所有光學元器件均為業內知名品牌,具有優越的穩定性、可靠性。
3、對位采用高精度攝像頭,配合具有自主知識產權的運動學標定算法,實現高精度對位。
設備參數 Parameters
型號 Model:SC-CP02L/RA
硅片尺寸(mm)Wafer Size:Compatible with18X/210/230
Uptime:≥98%
破片率Breakage Rate:<0.02%
外形尺寸(mm)Footprint:6555(L)x3000(W) x2520(H)
加工速度Processing Speed:>30米/秒m/s
激光光斑Laser Spot Size:80x80μm方形平頂光斑flat-top square spot
圖案精度Pattern Precision:≤±15μm
對準精度Alignment Precision:≤±15μm
產能Throughput:>8000Pcs/h(M10硅片wafer )