NP-CMP化學機械拋光液制備設備主要用于CMP(化學機械拋光液)(包括基于氧化硅納米顆粒的拋光液、氧化鈰納米顆粒的拋光液、碳化硅化學機械拋光液、氧化鋁體系和硅溶膠體系的超精密加工類化學機械拋光液)的分散和各種微納米材料、新能源材料、無機阻燃劑等的破碎、分散、分級、改性等。
NP-CMP化學機械拋光液制備設備經過測試的工藝路線,已經實現量產The tested process route has achieved mass production ;
智能控制,實時監測,完整數據存儲,直觀顯示圖、表Intelligent control, real-time monitoring, complete data storage, intuitive display of charts and tables;
轉速可調,溫度可控,超聲波強度可調,可定時Rotating speed adjustable, Temperature controlled, Ultrasonic intensity adjustable, Timed ;
操作方便簡潔,清洗容易 Easy and simple operation,easy to clean。
NP-CMP化學機械拋光液制備設備 參數:
Items實驗型Experiment Type生產型Production Type
溫度Temperature(℃)-30℃~80℃-20℃~80℃
分散方式Dispersion Type連續式continuous連續式continuous
材質Material quality玻璃、不銹鋼、鈦 glass or stainless steel不銹鋼、鈦stainless steel
規格Specification依容積depend on volume定制customized
流量Flow rate50~1000ml/min可定制customized
介質粘度media viscosity≤104cP≤104cP
攪拌轉速agitation speed500~3000rpm依實際需求選擇500~3000rpm依實際需求選擇
剪切轉速agitation speed1400~20000rpm依實際需求選擇1400~12000rpm依實際需求選擇
電源Power220V/50Hz220V/50Hz 、380V/50Hz
超聲功率Ultrasonic power200~3000W定制customized
超聲頻率Ultrasonic Frequency20KHz、28KHz、40KHz、68KHz20KHz、28KHz、40KHz、68KHz
顯示方式Display model數顯、液晶觸摸屏digital display,LCD touch screen 依據需要可選擇液晶觸摸屏LCD touch screen
溫度、功率可調Temperature、power adjustment