工作原理:
基于微焦點X射線管技術,通過高壓發生器加速電子束撞擊金屬靶材(如鎢靶),產生高能X射線束。X射線穿透被測工件后,由數字化平板探測器接收并轉化為電信號,經16位實時圖像處理系統生成高分辨率灰度圖像。
應用范圍:
覆蓋SMT、半導體、IGBT模塊及微型機電系統(MEMS)等領域。
產品技術參數:
設備采用開放式X射線管,電壓范圍25-160kV,管電流0.01-1.0mA,最大幾何放大倍數2000倍,總放大倍數可達10000倍。載物臺支持X/Y軸移動、探測器傾斜(±70°)及射線管上下調節,最大檢測尺寸440×550mm。系統配備1276×1276像素的高靈敏度平板探測器,輻射劑量<1μSv/h,符合全球輻射安全標準。
產品特點:
突出高效性與智能化。設備采用一鍵操作模式,支持“點擊&居中”“框選&放大”等快捷功能,單次檢測耗時僅數秒。搭載的FF CT軟件可實現快速三維重建,生成高真實感可視化圖像??蛇x配的ORYX 1616探測器將視場面積擴大50%,結合VoidInspect自動氣泡計算功能,顯著提升檢測效率。