電子探針X射線顯微分析儀,又名微區X射線譜分析儀??蓪υ嚇舆M行微小區域成分分析。除H、He、Li、Be等幾個較輕元素外,還有U元素以后 的元素以外都可進行定性和定量分析。電子探針的大批量是利用經過加速和聚焦的極窄的電子束為探針,激發試樣中某一微小區域,使其發出特征X射線,測定該X射線的波長和強度,即可對該微區的元素作定性或定量分析。??梢赃M行點、線掃描(得到成分分布信息)、面掃描(得到成分面分布圖像)。相對EDS,檢測限更低,有標測試,對于輕元素、微量元素測試精度更高。
樣品要求
1. 制樣要求
1) 粉末、薄膜、塊體均可;
2) 合金或
復合材料等偏析明顯的材料不需要腐蝕,部分材料如果沒有明顯偏析,可輕微腐蝕出晶界后進行測試。
2. 樣品要求
3) 粉末樣品:表征粉末表面提供20mg樣品以上;表征粉末內部需要提前溝通確認;
4) 塊體樣品:直徑≤20mm,高度≤10mm;樣品上下表面平行,待測面需打磨并機械拋光,保證樣品表面的平整度。
3. 其它要求
1) 如果樣品由于要求不噴金(噴碳)而導致效果不好,測試老師不安排復測;
2) 樣品性質穩定無毒,電子束轟擊時不能揮發、易燃易爆等;
3) 有機高分子材料與強磁粉末不能測試。