工作原理:
通過分析垂直入射光在薄膜表面及基底界面反射后形成的干涉光譜,結合薄膜材料的光學常數(折射率n、消光系數k),精確計算薄膜厚度。
應用范圍:
廣泛應用于半導體制造(如光刻膠、電介質層)、光伏產業(鈣鈦礦、ITO 涂層)、生物醫學(派瑞林涂層)、高分子材料(PI 膜)、光學鍍膜等領域。其非接觸式測量特性可避免對樣品的損傷,適用于彎曲基底、粗糙表面及液體環境下的薄膜表征。
產品技術參數:
厚度測量范圍:1nm-1mm(依光譜配置調整)
光譜范圍:200nm-2500nm(支持 UV/Vis/NIR 多波段)
光源:氘燈+鎢鹵素燈(壽命 10000 小時)
光斑尺寸:最小 350μm(可選配 <100μm 聚焦模塊)
樣品臺:支持手動/自動 XY 平臺(最大 300mm×300mm)及加熱模塊(室溫-200℃)
數據庫:預存 >600 種材料光學參數
產品特點:
模塊化設計:用戶可按需選配光譜儀、光源、探頭及環境控制模塊(如液體試劑盒、積分球),適配不同應用場景。
高精度與穩定性:采用白光干涉技術,結合動態快速測量算法,實現納米級分辨率與 0.05nm 穩定性。
多功能分析:支持單點測量、Mapping 掃描及光學參數(n、k)同步提取,兼容離線與在線測量模式。
用戶友好:配備 Windows 操作系統軟件,支持視頻錄制、數據離線分析及免費更新。