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    薄膜厚度測量儀

    薄膜厚度測量儀

    183
    規格/型號:FR-pRo
    品牌:岱美儀器
    應用領域:分析檢測
    產地:上海 - 上海
    廠家/供應商:岱美儀器技術服務(上海)有限公司
    咨詢電話::131 4601 4551(請說明信息源自“中冶有色網”)
    更新時間:2025-05-31
    級別:待認證

    薄膜厚度測量儀說明介紹

    岱美儀器


    工作原理:

    通過分析垂直入射光在薄膜表面及基底界面反射后形成的干涉光譜,結合薄膜材料的光學常數(折射率n、消光系數k),精確計算薄膜厚度。


    應用范圍:

    廣泛應用于半導體制造(如光刻膠、電介質層)、光伏產業(鈣鈦礦、ITO 涂層)、生物醫學(派瑞林涂層)、高分子材料(PI 膜)、光學鍍膜等領域。其非接觸式測量特性可避免對樣品的損傷,適用于彎曲基底、粗糙表面及液體環境下的薄膜表征。


    產品技術參數:

    厚度測量范圍:1nm-1mm(依光譜配置調整)

    光譜范圍:200nm-2500nm(支持 UV/Vis/NIR 多波段)

    光源:氘燈+鎢鹵素燈(壽命 10000 小時)

    光斑尺寸:最小 350μm(可選配 <100μm 聚焦模塊)

    樣品臺:支持手動/自動 XY 平臺(最大 300mm×300mm)及加熱模塊(室溫-200℃)

    數據庫:預存 >600 種材料光學參數


    產品特點:

    模塊化設計:用戶可按需選配光譜儀、光源、探頭及環境控制模塊(如液體試劑盒、積分球),適配不同應用場景。

    高精度與穩定性:采用白光干涉技術,結合動態快速測量算法,實現納米級分辨率與 0.05nm 穩定性。

    多功能分析:支持單點測量、Mapping 掃描及光學參數(n、k)同步提取,兼容離線與在線測量模式。

    用戶友好:配備 Windows 操作系統軟件,支持視頻錄制、數據離線分析及免費更新。

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    所屬領域:
    分析檢測
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