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    納米級離子注入系統

    納米級離子注入系統

    408
    規格/型號：暫無
    品牌：科睿設備
    應用領域：檢測設備
    產地：上海 - 上海
    廠家/供應商：科睿設備有限公司
    咨詢電話:：852-2710-8200（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-06-15
    級別：待認證

    納米級離子注入系統說明介紹

    納米級離子注入系統

    納米級離子注入系統


    Q-One型納米級離子注入系統是一種先進的半導體制造設備，專為量子器件和先進材料工程設計。它能夠以納米級精度實現單離子的精確定位和注入，具備20納米的聚焦離子束和1納米的光學編碼器壓電驅動級，確保極高的離子放置精度。Q-One支持多種元素的注入，包括液態金屬離子源和雙等離子體源，可實現氧和氮的摻雜。其高分辨率電子柱提供4nm的詳細成像，用于現場驗證和過程控制。該系統不僅速度快、可擴展性強，還能在短時間內生成數百萬個精確定位的原子陣列，廣泛應用于單離子注入、量子器件制造、納米材料工程、光子系統和存儲設備等領域。

    Q-One型， 先進的納米級離子注入平臺

    Q-One是一種具有納米級精度的確定性單離子注入的最新工具。這是一種全新的設計，功能強大的FIB，能夠以驚人的精度和前所未有的速度定位單個離子。

    Q-One具有許多強大的功能，是制造量子器件和先進材料工程的最先進系統。

    快速、可擴展的設備制造

    Q-One比SPM（掃描探針顯微鏡）技術快許多數量級，它可以在短短幾秒鐘內產生數百萬個精確定位的原子陣列。

    納米精度

    Q-One具有20納米聚焦離子束和1納米光學編碼器的壓電驅動級，提供了最終的精確離子放置。

    植入多種元素

    液態金屬離子源和質量過濾柱可選擇和植入40多種不同元素。雙等離子體源也可用于氧和氮摻雜。

    雙離子束

    高分辨率電子柱可提供高達4nm的詳細成像，用于現場驗證和過程控制。

    應用

    單離子注入

    量子器件制造與研究

    納米材料工程

    光子系統

    存儲設備

    成功案例

    單離子多物種低能定位項目

    作為單離子多物種低能定位項目的一部分， 2018年在英國 Surrey Ion Beam Centre安裝了第一批兩臺同類儀器。

    PLATFORM FOR NANOSCALE ADVANCED MATERIALS ENGINEERING

    Q-One系統成為英國Henry Royce研究所，納米先進材料工程新平臺的核心。

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    納米級離子注入系統 檢測設備
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