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    > 俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統

    俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統

    俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統

    414
    規格/型號：暫無
    品牌：科睿設備
    應用領域：檢測設備
    產地：上海 - 上海
    廠家/供應商：科睿設備有限公司
    咨詢電話:：852-2710-8200（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-06-16
    級別：待認證

    俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統說明介紹

    俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統

    俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統


    俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統是一種用于薄膜及合金表面深度分析的設備，結合了俄歇電子能譜（AES）、低能電子衍射（LEED）和氬離子濺射深度分析技術。它能夠實現對薄膜和合金的元素組成、原子結構和深度分布的“亞納米級”精度分析，適用于大范圍樣品的半自動化操作。系統配備延遲型區域分析器、雙靜電透鏡電子槍、磁場內電子沖擊離子源、線型磁動樣品傳輸臂和超高真空腔體等組件，支持樣品預抽真空室（load-lock腔室），具備高精度和高真空度的特點，可用于多種材料的表面分析。

    俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統，又稱俄歇電子能譜AES及低能電子衍射LEED樣品表面深度分析系統?；诙硇娮幽茏VAES、低能電子衍射LEED、及氬離子濺射深度分布的分析系統，完成對薄膜及合金的元素組成和深度分布的分析。

    非接觸式測量薄膜及合金元素組成。

    帶樣品預抽真空室 （load-lock腔室）。

    特性：

    -對原子結構，元素組成和厚度分析達到“亞納米級”精度

    -大范圍樣品分析

    -半自動化操作

    系統特性

    俄歇電子能譜AES分析器

    分析器型號-延遲型區域分析器，自帶同軸電子槍

    能量分辨率：<5%

    工作距離 10mm

    檢測器: 1e7至1e8增幅范圍的電子倍增器通道

    安裝法蘭-4.5英寸O.D.標準CF法蘭（NW63CF)

    電子槍：

    型號 ：帶可調焦距和束斑直徑的雙靜電透鏡

    束流電壓：0-3KV

    束流電流：最大50uA

    束流直徑：最大800um

    燈絲：鎢燈絲

    磁罩：帶前置保護殼的Mu罩

    深度離子濺射槍

    離子源  在磁場內電子沖擊形成離子

    離子化陰極  鎢-錸燈絲

    直接安裝于70mmO.D.CF法蘭

    束流電流：最大10 uA

    束流能量：0-3keV

    束流尺寸;直徑范圍5至25mm

    束流均勻度：<5%

    氣體輸入：經過泄漏閥氣體直接輸入至離子源

    安裝法蘭：23/4英寸（70mm）O.D.CF法蘭

    樣品傳遞操作

    樣品尺寸：尺寸從10mm-20mm

    樣品置入：單個樣品置入

    樣品傳輸：線型磁動樣品傳輸臂

    真空系統

    腔體：100mm焊接超高真空腔體（304不銹鋼）

    真空泵：60L/sec離子泵和50l/sec的分子泵，配備匹配的前級泵

    真空規：寬量程真空規

    真空兼容：超高真空材料

    烘烤：真空下可最高烘烤至250度
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    俄歇電子能譜及低能電子衍射分析系統 低能電子衍射分析系統 檢測設備
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