射頻發生器 射頻電源
這段文字介紹了一種高性能射頻發生器，其采用最新LDMOS技術，功率范圍從100W到10kW，頻率覆蓋2MHz到100MHz，具備頻率調諧、脈沖等功能，且配備靈活用戶界面和高級功能。它適用于半導體、工業鍍膜等領域，能在極端動態負載下可靠工作。產品還提供廣泛的功率和頻率配置，集成先進組件，支持高穩定射頻輸出、電弧管理等特性，易于集成和控制。其應用廣泛，包括PECVD、PVD、刻蝕設備等，且在多個知名科研機構和項目中得到應用，如布魯克海文國家實驗室、勞倫斯伯克利國家實驗室等。
市場上最新、最先進的射頻發生器
射頻發生器從2MHz到100MHz，功率從100W到10kW，帶有頻率調諧、脈沖和操作面板
使用最新LDMOS器件， 到達最穩定的射頻性能
滿足大多數需求的靈活用戶界面
高級功能是標準配置！
采用最新的LDMOS場效應管技術，可在半導體和工業鍍膜應用中的極端動態負載下可靠工作。
擁有廣泛的功率和頻率范圍，允許用戶在一個平臺內滿足您的所有需求。
可在廣泛的配置（2, 13, 27，40和60MHz；100W至10kW），并配備了行業領先的組件和子組件，我們射頻發生器最大限度地提高可靠性和產量。
從高穩定射頻平臺提高過程控制
可靠性穩健設計，縮短停機時間
易于集成和控制
特征：
高穩定射頻
?頻率調諧
?電弧管理
?脈沖
?CEX主/從
?CEX相移
?前操作面板
?射頻功率放大
射頻發生器產品范圍：
從毫瓦到幾十千瓦的固態
射頻管設計從1000W---200kW
頻率范圍高達350MHz
集成固態和管設計
交直流電源設計
高壓、大功率
單相和三相設計
模擬電路設計
控制電路、故障檢測、計量等。
信號調節
遙控接口
專用硬件設計
特定于系統的自定義軟件設計
機械包裝
自定義CAD/CAM設計
快速成型
應用的設備：
PECVD設備
?PVD/磁控濺射機
?刻蝕設備
?工業鍍膜
射頻發生器的主要用戶：
65kW CW，211MHz，水冷四極管放大器，
--------布魯克海文國家實驗室（BNL），國家同步加速器光源（NSLS）。
55kW CW，176MHz，水冷四極放大器，
-------杜克大學，自由電子激光器（FEL）
4kW CW，52MHz，水冷固態放大器，
-------布魯克海文國家實驗室（BNL），國家同步加速器光源（NSLS）
12個3.5kW CW，196MHz，水冷固態放大器
-------布魯克海文國家實驗室BNL，相對論重離子對撞機（RHIC）
11個500W寬帶、1-30MHz、水冷、“A”級射頻放大器，
------布魯克海文國家實驗室（BNL）相對論重離子對撞機（RHIC）
6個20kW長脈沖，402MHz，風冷四極放大器
------勞倫斯伯克利國家實驗室（LBNL）散裂中子源（SNS）
3個80kW長脈沖，2MHz，風冷四極放大器
-----LBL（SNS）和橡樹嶺國家實驗室（ORNL）的（SNS）
8kW CW，211MHz，水冷固態放大器
------布魯克海文國家實驗室（BNL），國家同步加速器光源（NSLS）
2kW CW，200MHz，風冷固態放大器-------康奈爾大學
20kW CW，27MHz，風冷固態，移動射頻發生器-------KAI技術公司
25kW CW，18-32MHz，自動調諧，水冷，四極射頻放大器，
------------Joint Institute for Nuclear Research (JINR),，（FlerovLab）
15kW CW，11-12MHz，自動調諧，水冷，三極射頻放大器
-------------Joint Institute for Nuclear Research (JINR),（FlerovLab）
4個雙300W輸出，88-108MHz，用于調頻發射機-----NAVAIR Spiral 3項目
12kW CW,101MHz水冷三極射頻放大器---------華中科技大學
100kW CW，1.0MHz，水冷，四極射頻放大器------華中科技大學
45kW CW，7.2至10.5MHz, 水冷，三極射頻放大器--------JINR（弗萊羅夫實驗室）
15kW CW，寬帶（35-65MHz），固態，水冷射頻放大器--------印度ITER
120kW CW，48MHz，水冷，四極射頻放大器-------印度的IUAC
30kW CW，97MHz，水冷，三極管射頻放大器-----印度的IUAC
3kW CW，13.56射頻放大器和匹配網絡----印度IPR
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湖南 - 長沙
2025年08月07日 ~ 09日
