光譜型橢偏儀
一、簡介
UVISEL光譜型相調制橢圓偏振儀(SPME)是一款的儀器,它采用光彈性晶體來調制偏振光,而不是傳統橢偏技術中的機械偏光裝置。
與傳統橢偏儀相比,UVISEL光譜型橢偏儀能夠在全譜范圍內測橢偏角(Y,D),從而可以對透明襯底、超薄薄膜和折射率接近的樣品進行特性分析。
相調制技術的原理,使得UVISEL光譜型橢偏儀能夠進行參數測量,包括較為化度、各向異性以及Mueller矩陣元素的確定。高達1毫秒/每數據點的快速數據采集速率,使得UVISEL成為動態研究和液態表面測量的可靠的解決方案。
UVISEL是一臺多功能的光譜型橢偏儀。它覆蓋了190nm到2100nm的寬光譜范圍,而且提供了一系列的自動選件和附件來增強系統的功能、滿足您的實驗需求。模塊化的設計使得UVISEL配置靈活,可以離線、在線甚至為減小占地面積和滿足超凈間要求而集成到一個機柜中。
二、技術特點
?光譜型相調制橢圓偏振儀
?精度和靈敏度良好
?寬光譜范圍:142到2100納米
?模塊化設計
?包含成熟的光譜型橢圓偏振儀軟件包
?自動平臺樣品掃描成像、變溫臺、
電化學反應池、液體池、密封池等多種附件
三、主要應用
測量厚度、反射率和透射率、折射率等光學常數
?單層膜或多層膜疊加
?單一膜層
?液態膜層
四、技術能力
光譜波長范圍:190-2100nm
光源:75WXe燈
光斑大?。簶伺?lt;3mm,小光斑50μm可選
探測器:分別針對紫外,可見和近紅外提供優化的PMT和IGA探測器
自動樣品臺尺寸:6/8寸多種樣品臺可選
自動量角器:變角范圍35°-90°,全自動調整,小步長0.01°
五、應用
半導體薄膜:光刻膠、工藝薄膜、介電材料
液晶顯示:OLED、玻璃厚度、ITO
光學鍍膜:硬涂層厚度、減反涂層
高分子薄膜:PI、PC