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    高真空濺射鍍膜儀

    高真空濺射鍍膜儀

    246
    規格/型號:Leica EM SCD500
    品牌:納騰
    應用領域:加工設備
    產地:上海 - 上海
    廠家/供應商:上海納騰儀器有限公司
    咨詢電話::02164283335(請說明信息源自“中冶有色網”)
    更新時間:2025-07-08
    級別:待認證

    高真空濺射鍍膜儀說明介紹

    高真空濺射鍍膜儀 Leica EM SCD500

    高真空濺射鍍膜儀 Leica EM SCD500


    Leica EM SCD500高真空濺射鍍膜儀是一款無油高真空系統,專為FE-SEM觀察前的樣品鍍膜、TEM/EDX噴涂以及多層膜樣品制備設計。它具備多種功能,包括金屬濺射鍍膜、輝光放電、蝕刻(樣品清潔)、碳絲蒸發鍍膜、碳棒蒸發鍍膜、金屬熱阻蒸發鍍膜,還可選配液氮冷臺(適配EM VCT100)。設備配備金屬靶檔板,適用于特殊濺射靶材的預濺射,確保鍍膜純度??蛇x配石英膜厚監控器,實現程序化控制膜厚并反饋鍍膜儀。樣品室尺寸有標配?106mm和選配?205mm(可容納wafer 152mm/6"圓形或127mm/5"方形)兩種規格。操作簡單,帶有LED指示,機身印有操作說明。

    無油高真空系統,適合FE-SEM觀察前樣品鍍膜機TEM/EDX噴涂要求;也可應用于制備多層膜樣品

    *功能:金屬濺射鍍膜/輝光放電/蝕刻(樣品清潔)/碳絲蒸發鍍膜/碳棒蒸發鍍膜/金屬熱阻蒸發鍍膜/加裝液氮冷臺(適配EM VCT100)

    *帶有金屬靶檔板,適用于特殊濺射靶材的預濺射,確保鍍膜純度

    *可選配石英膜厚監控器,可程序化控制膜厚,并反饋鍍膜儀

    *樣品室尺寸:標配?106mm,選配?205mm(可容納wafer 152mm/6"圓形或127mm/5"方形)

    *操作簡單,帶有LED指示,機身印有操作說明
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