NX-PTR全自動在線檢測原子力顯微鏡
簡介
ParkSystems的PTR系列是針對全自動工業級線上的原子力顯微鏡解決方案,適用于(不限于)長形條、磁頭萬向節組件(HGA)級滑塊以及單滑塊的沉降自動測量。憑借著亞納米級精確度、高重復精度以及高通量,PTR系列是滑塊廠商提高整體產量的理想測量工具,硬盤驅動滑塊制造業要求工具不僅可以快速且流暢地測量較為尖沉降,同時還要保證高標準的精確度。這便是ParkNX-PTR大展身手的領域。在超精確的較為尖沉降測量之外,自動化功能可較為大程度提高效率。這讓NX-PTR成為硬盤驅動器滑塊廠商的好的選擇,兼顧佳的質量和高的產量。大多數原子力顯微鏡需要多次掃描才可以準確測量較為尖沉降,首先是大區域參考掃描,隨后小區域高分辨率掃描。
多次掃描占用大量時間,且限制了通量的提高。我們的掃描系統帶來真正的平面掃描,有效地降低掃描次數。此外,TrueNon-Contact?模式讓探針保持鋒利,在延長使用壽命的同時,也提供高分辨率成像效果。相應地,ParkNX-PTR能夠生成感興趣區域的詳細準確圖像,而無需進行參考掃描,以便修正掃描器偽影。
主要功能
1.全自動線上,快速,精準可靠的PTR測量
2.不需要多次掃描
3.自動在線硬盤滑塊測量
4.自動缺陷檢測分析
5.自動激光校正,以及自動轉換探針
應用
全自動化較為尖沉降(PTR)測量
實現各類墻角的自動測量與分析。
實現各類缺陷的全自動測量與分析,如表面尖角。