HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀
簡介
HORIBA Smart SE智能型多功能橢偏儀適用于單層和多層薄膜的精確表征和分析。該設備具備多角度測量能力，可靈活配置，并支持在線與離線模式切換。其技術參數包括450-1000nm的光譜范圍和多尺寸微光斑自動選擇光斑可視技術。主要特點是一鍵式操作、無運動部件的液晶調制技術和快速全譜輸出的CCD探測系統。此外，它還支持多個微光斑尺寸選擇和多角度測量，能夠實現在線測量配置。
HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀產品介紹：
HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀是一種薄膜測量工具。僅需簡單的幾個按鈕，幾秒鐘內即可自動完成樣品測量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報告，包括薄膜厚度、光學常數、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。它是用于快速薄膜測量和器件質量控制的解決方案。為薄膜測量設計，一鍵式操作。
HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀產品特點：
可在450nm~1000nm波長內實現快速測量（<1秒）
多種光斑尺寸軟件選擇
自動裝載和調整樣品高度（需自動平臺）
大面積自動成像（需自動平臺）
密封氣體池、透過率曲線測量等多種附件
HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀產品優勢：
光斑可視系統：HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀具備MyAutoView光斑可視系統，可清晰觀察光滑或粗糙的樣品表面，保證用戶可將測量光斑定位在樣品目標上的測量位置。
智能診斷：HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀儀器維護非常簡單，借助完整的操作向導，自動檢測并診斷問題，對故障進行處理
靈活多功能選項：HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀的入射角度可調，且可用于在線實時監測，具備靈活性。
HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀產品測量原理：
HORIBA Smart SE 橢偏儀是利用薄膜的光學特性進行膜厚測量的非接觸測量方法?；谄窆夥瓷浠蛲干鋾r的狀態變化來測量薄膜的厚度和折射率。當偏振光照射到薄膜表面時，反射光或透射光的偏振狀態會發生變化，這種變化依賴于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振狀態和角度。通過分析這些變化，可以準確地推導出薄膜的厚度。
HORIBA Smart SE 橢圓偏振光譜儀軟件：
橢圓偏振光譜軟件DeltaPsi2功能豐富，它基于WindowsT操作系統，充分利用了HORIBA Scientific（JobinYvon光譜技術）橢偏儀硬件技術的特點，具有眾多建模和擬合處理功能，以及簡單的操作界面，可為研究者提供便捷的橢偏分析手段。
梯度膜層
粗糙度或界面
材料組份/結晶度
各向異性膜層
薄膜厚度的不均勻性
退偏因子
與材料模型公式相關的完整的屬性數據庫
對于厚透明樣品基底背景光的自動修正
周期變化結構
用戶超薄薄膜應用的BLMC算法
多重猜測、多重初值、多重模型、相關性……
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河南 - 洛陽
2025年07月16日 ~ 18日
