工作原理
NST3采用高剛性壓電陶瓷驅動系統,通過金剛石壓頭(如Rockwell C型或圓錐形)以恒定或遞增載荷在樣品表面劃動,同時實時記錄劃痕過程中的載荷、位移及聲發射信號?;趧澓坌蚊卜治觯ㄈ缗R界載荷LC的確定)與聲發射監測,儀器自動計算涂層與基體的結合強度、薄膜的摩擦系數及材料的脆性指數。其獨特的“動態力控制”模式可模擬實際工況下的漸變載荷作用,結合高速數據采集模塊(≥1MHz),精準捕捉劃痕起始、擴展及失效的全過程。
應用范圍
覆蓋微電子、新能源、生物醫學、航空航天及光學涂層等領域。在微電子行業,用于評估集成電路互連層、封裝材料及柔性顯示屏基板的涂層附著力;新能源領域分析鋰電池電極涂層、固態電解質膜的界面結合穩定性;生物醫學領域測試醫用植入物表面涂層(如鈦合金氧化層、羥基磷灰石)的耐磨性與生物相容性;航空航天領域研究渦輪葉片熱障涂層、碳纖維復合材料的界面斷裂韌性;光學行業評估光學薄膜(如增透膜、反射膜)的抗劃傷性能。
技術參數
載荷范圍0.1mN-30N,分辨率0.1μN;劃痕速度0.1μm/s-10mm/s;位移分辨率0.01nm;壓頭類型支持Rockwell C、圓錐形及自定義形狀;聲發射監測頻率范圍100kHz-2MHz;數據采集頻率≥1MHz,支持力、位移、聲發射三通道同步采集;設備集成高倍光學顯微鏡(可選配激光共聚焦),實現劃痕形貌原位觀測;工作溫度范圍-100℃至600℃(可選配加熱模塊)。
產品特點
亞納米級位移精度與微牛級載荷分辨率,確保測試數據的高重復性與準確性;動態力控制與聲發射監測技術,實現劃痕過程的全維度解析;模塊化設計支持快速更換壓頭、擴展環境控制模塊及原位觀測系統,適配多樣化測試需求;用戶友好型軟件集成自動化測試流程、智能臨界載荷識別及多格式報告生成功能,顯著降低操作門檻。NST3以“精準、智能、靈活”為核心優勢,成為納米劃痕測試領域的標桿設備。