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工作原理
設備基于電子束與樣品相互作用原理：肖特基場發射電子源產生高亮度、低能散的電子束，經電磁透鏡聚焦后掃描樣品表面。電子束與樣品原子碰撞產生二次電子（SE）、背散射電子（BSE）及特征X射線等信號。SE探測器捕捉表面形貌信息，BSE探測器反映成分對比度，EDS（能譜儀）通過X射線能量分析實現元素定性定量檢測，最終合成高分辨率圖像與成分數據。
應用范圍
適用于材料科學（納米材料形貌觀察）、半導體行業（芯片缺陷分析與工藝優化）、生物醫學（細胞/組織超微結構解析）、地質學（礦物晶體結構表征）及質檢領域（失效分析）。尤其適合需要滿足ASTM E986、ISO 15901等標準的場景，助力科研突破與產品質量控制。
產品技術參數
電子源：肖特基場發射槍（Schottky型），束流穩定性≤0.2%/h
分辨率：1.2 nm（15 kV，SE模式），2.0 nm（1 kV，SE模式）
加速電壓：0.5~30 kV（連續可調）
放大倍數：20×~800,000×
探測器：SE/BSE雙探測器、EDS能譜儀（可選）
樣品臺：五軸自動樣品臺（X/Y/Z/旋轉/傾斜，移動范圍≥50mm）
真空系統：三級真空（高真空≤1×10?? Pa，低真空適配導電/非導電樣品）
尺寸/重量：主機1600×1100×1400mm / 1800kg（含控制柜）
產品特點
肖特基發射源與高穩定性：Schottky型場發射槍提供高亮度電子束，1.2 nm分辨率可清晰解析納米材料細節；束流穩定性≤0.2%/h，確保長時間成像一致性。
多模式與成分分析：集成SE/BSE成像與EDS能譜檢測，支持形貌-成分關聯分析；可選配EBSD（電子背散射衍射）模塊，解析晶體取向與相分布，滿足材料科學全維度表征需求。
智能化操作：全自動樣品臺與參數優化功能，支持一鍵式成像與數據分析；國儀量子自主開發的SEM軟件集成三維重構、大數據處理模塊，提升研究效率。
耐用與低維護設計：肖特基發射槍壽命≥3000小時，真空系統采用無油渦輪分子泵，降低維護頻率；防振動設計適應實驗室環境，確保長期運行穩定性。
合規與擴展性：符合CE、RoHS及中國計量認證（CMA）要求，檢測報告具備法律效力；支持與FIB（聚焦離子束）系統聯用，實現“觀察-加工”一體化，適配前沿材料研究需求。
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湖南 - 長沙
2025年08月07日 ~ 09日
