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    > 實驗型氧化擴散爐

    實驗型氧化擴散爐

    實驗型氧化擴散爐

    186
    規格/型號：KJ150-XK
    品牌：鴻爐機械
    應用領域：材料制備
    產地：河南 - 鄭州
    廠家/供應商：河南鴻爐機械設備有限公司
    咨詢電話:：17737149370（請說明信息源自“中冶有色網”）
    更新時間：2025-07-24
    級別：待認證

    實驗型氧化擴散爐說明介紹

    實驗型氧化擴散爐

    設備介紹

    鄭州科佳KJ150-XK是一款管式擴散氧化爐，適用于企業研發、大學及科研院所的科研與教學?？蓾M足多晶硅、氮化硅、擴散、氧化、退火等工藝。

    產品特點

    1、可滿足多晶硅、氮化硅、擴散、氧化、退火等工藝

    2、采用高可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現全部工藝過程自動化;

    3、具有友好的人機界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數，并可隨時顯示各種工藝狀態;

    4、具有多種工藝管路，可供用戶方便選擇;

    5、具有強大的軟件功能，配有故障自診斷軟件，可大大節省維修時間;

    6、恒溫區自動調整，串級控制，可準確控制反應管的實際工藝溫度;

    7、具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報警和保護功能;

    8、可根據用戶要求定制產品。

    產品優勢

    工藝過程自動化

    采用高可靠性工控機+PLC模式，對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現全部工藝過程自動化

    多段智能PID程序控溫

    控溫系統采用PID方式調節，多段"時間—溫度曲線"任意可設，可編程30步

    操作簡單快捷

    具有友好的人機界面，用戶可以方便地修改工藝控制參數，并可隨時顯示各種工藝狀態

    技術參數

    實驗型氧化擴散爐

    產品型號 KJ150-XK

    工作溫度 ≦1300℃

    應用晶片尺寸 2~8英寸圓片(更多規格可按需求定制)

    可配工藝管數量 1~2管/臺

    溫度變化速率 最大升溫速率10℃/min，最大降溫速率5℃/min

    安全預警 具有超溫、斷偶、熱偶短路、工藝氣體流量偏差報警和保護功能
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    實驗型氧化擴散爐 氧化擴散爐
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    河南鴻爐機械設備有限公司
    企業認證：
      
    所屬領域：
    材料制備
    企業性質：
    -
    經營范圍：
    -
    聯系電話：
    17737149370
    詳細地址：
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