東方鉭業近日宣布成功研發5N9級超高純鉭靶坯,打破國外技術壟斷。該產品已形成完整產業鏈,應用于半導體制造等領域,標志著我國在高純鉭靶材領域取得重要突破。
本發明公開了一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法,該方法包括:一、準備粉末原料;二、混勻;三、烘干;四、梯度加熱、加壓SPS燒結;五、包覆熱軋及退火處理;六、機加工、校直、真空退火及清洗處理。本發明采用梯度加熱、加壓的SPS燒結工藝,不僅獲得了合金化完全、組織均勻致密的鋁鉻合金靶材坯料,極大縮短制備周期,大幅提高生產效率,有效保證了良好的合金化效果,還避免長時間燒結造成晶粒長大和氧含量增加的問題,結合包覆熱軋及退火工藝,進一步細化晶粒、提高組織均勻性,消除了SPS單軸壓力引起密度均勻性差的問題
本發明提供一種低密度ITO蒸鍍靶材的制備方法,包括以下步驟:一、根據成分配比要求,將氧化銦與氧化錫進行混合得到混合粉體,然后摻入造粒助劑,得到ITO漿料;二、將ITO漿料進行造粒處理,得到ITO造粒粉體;三、將ITO造粒粉體分成兩部分;四、將第一部分的ITO造粒粉體進行預燒,得到預燒粉體;五、將預燒粉體與第二部分的ITO造粒粉體混合,并進行預壓成型,得到ITO素坯;六、將ITO素坯放入脫脂爐中進行脫脂處理;七、將處理后的ITO素坯放入燒結爐內在常壓空氣氣氛中進行燒結處理。
河南三門峽出售17年中聯雙線180攪拌站,地倉配料機,方量不大,正在拆,需要的聯系
裝飾鍍膜用靶材及薄膜的制備研究,有研資源環境技術研究院,孫悅,顏色呈現機理及應用需求;黑膜用陶瓷濺射靶材制備及應用技術;電致變色活性層用靶材制備技術;電致變色材料在紅外波段應用研究;總結與展望;
羅群,上海大學,研究員。研究方向:基于相變熱/動力學計算的輕合金設計。在Adv. Mater.、J. Magnes. Alloy.、J. Mater. Sci. Technol.等期刊發表論文80余篇,引用3000余次;授權國家發明專利13項;主持多項國家自然科學基金、國家重點研發計劃子課題等項目;獲國際鎂合金科學與技術獎·年度青年獎、中國有色金屬工業科學技術一等獎,入選2022年World TOP 2% Scientists、中科協青年人才托舉工程等;學術兼職中國材料研究學會理事、JMA、MGE Advances、RM等期刊青年編委。