權利要求書： 1.掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置，其特征在于：包括樣品基座(1)及插設于所述樣品基座(1)上的樣品臺(2)，沿著所述樣品臺(2)邊沿插設有多個樣品支座(3)；所述樣品支座(3)的內端插入所述樣品臺(2)，所述樣品支座(3)的上表面開設有豎向凹槽(31)，所述豎向凹槽(31)的一端穿出所述樣品支座(3)的外端，所述樣品支座(3)的外壁設有第一斜面(32)和第二斜面(33)，第一斜面(32)和第二斜面(33)分別位于所述豎向凹槽(31)的兩側，所述第一斜面(32)和第二斜面(33)的上沿分別延伸至所述豎向凹槽(31)的槽口。2.根據權利要求1所述的掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置，其特征在于：所述樣品臺(2)為矩形，所述樣品臺(2)的側壁均開設有倒T型槽，所述樣品支座(3)為倒T型座，所述倒T型座與所述倒T型槽滑動配合。3.根據權利要求1所述的掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置，其特征在于：還包括鎖緊螺栓(4)和定位板(5)，所述鎖緊螺栓(4)活動穿過所述定位板(5)的中心后，與所述樣品臺(2)的中心螺紋連接。4.根據權利要求1所述的掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置，其特征在于：所述第一斜面(32)與第二斜面(33)的傾角不相同。5.根據權利要求1所述的掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置，其特征在于：所述樣品臺(2)底部設有支柱(6)，所述樣品基座(1)上開設有固定孔(7)，所述固定孔(7)與所述支柱(6)一一對應。 說明書： 掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置技術領域[0001] 本實用新型涉及檢測設備領域，特別涉及掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置。背景技術[0002] 掃描電子顯微鏡因為其觀測尺度跨幅大，能夠分析的微區面積大可到達平方毫米的量級，小可至平方微米的量級，圖像的幾何分辨率可達到或優于納米級。其樣品制備相對簡單，附件以及其他功能豐富。目前，掃描電鏡已廣泛應用于物理、化學、材料、冶金、礦物、地質、生物等領域，是科研、生產等領域中應用最廣泛的顯微分析儀器之一，是當前必不可少的分析手段。樣品臺是SEM的關鍵部件之一，它用以承載樣品，并通過電子束掃描系統成像表征樣品的局部特征。然而，目前SEM常用的樣品臺對裝載樣品的斷面斜面觀察有一定的限制，只適用于平面或
聲明：
“掃描電子顯微鏡多樣品裝載組合裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：方達醫藥技術(蘇州)有限公司
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2025年07月09日 ~ 11日 
