權利要求書： 1.一種鍍層測厚儀的平面XY微動裝置，其特征在于，包括：樣品承載臺(5)、滑臺上座(6)、滑臺中座(7)和滑臺底座(9)，所述滑臺中座(7)在X方向與所述滑臺底座(9)滑動連接，所述滑臺上座(6)在Y方向上與所述滑臺中座(7)滑動連接；所述滑臺底座(9)的一側設置有X軸傳動定位座(10)，所述滑臺中座(7)的一側設置有X軸絲桿螺母座(15)，所述樣品承載臺(5)安裝在所述滑臺上座(6)上；X軸傳動絲桿(13)的一端與所述X軸傳動定位座(10)的一端可樞轉地連接，所述X軸傳動定位座(10)的另一端可樞轉地安裝有Y軸傳動花鍵軸(20)，所述X軸傳動絲桿(13)的另一端可樞轉地穿設在所述Y軸傳動花鍵軸(20)中，所述X軸絲桿螺母座(15)安裝在所述X軸傳動絲桿(13)上，所述Y軸傳動花鍵軸(20)上安裝有Y軸傳動錐齒輪(19)；所述滑臺中座(7)的另一側設置有Y軸傳動定位座(26)，所述滑臺上座(6)的一側設置有Y軸絲桿螺母座(27)；所述Y軸傳動定位座(26)上可樞轉地安裝有Y軸傳動絲桿(28)，所述Y軸絲桿螺母座(27)安裝在所述Y軸傳動絲桿(28)上，所述Y軸傳動絲桿(28)的一端設置有用于與所述Y軸傳動錐齒輪(19)配合的Y軸從動錐齒輪(24)；所述X軸傳動絲桿(13)與所述Y軸傳動絲桿(28)垂直設置，所述X軸傳動絲桿(13)的一端設置有X軸旋轉驅動部(23)，所述Y軸傳動花鍵軸(20)上設置有Y軸旋轉驅動部(22)。2.根據權利要求1所述的鍍層測厚儀的平面XY微動裝置，其特征在于，所述滑臺中座(7)通過X軸交叉滾珠直線導軌(8a)安裝在所述滑臺底座(9)上，所述滑臺上座(6)通過Y軸交叉滾珠直線導軌(8b)安裝在所述滑臺中座(7)上。3.根據權利要求1所述的鍍層測厚儀的平面XY微動裝置，其特征在于，所述X軸傳動定位座(10)的一個軸承孔內背對背地安裝有兩個用于與所述X軸傳動絲桿(13)連接的第一角接觸球軸承(40)，所述X軸傳動定位座(10)的另一個軸承孔內安裝有兩個用于與所述Y軸傳動花鍵軸(20)連接的第一深溝球軸承(34a)。4.根據權利要求1所述的鍍層測厚儀的平面XY微動裝置，其特征在于，所述X軸絲桿螺母座(15)的遠離所述Y軸傳動錐齒輪(19)的一端設置有X軸梯形螺母(14a)，所述X
聲明：
“鍍層測厚儀的平面XY微動裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
926
編輯：管理員
來源：西凡儀器(深圳)有限公司
分享 0
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
2025年07月09日 ~ 11日 
