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    一種基于范德堡法的高通量微區電學性能檢測系統及檢測方法

    1007   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:18:53
    本發明涉及材料電學性能檢測領域，具體涉及一種基于范德堡法的高通量微區電學性能檢測系統及檢測方法。檢測系統包括樣品臺、檢測機構和位置調節機構。樣品臺用于放置待檢測的樣品；檢測機構具有多根探針，用于利用范德堡法對樣品進行檢測；位置調節機構用于在檢測過程中自動調整探針與樣品臺的相對位置，以使探針能夠對樣品的不同微區進行檢測。檢測方法基于檢測系統實現。其能夠對高通量的樣品進行檢測，與高通量實驗技術更加匹配，使高通量實驗技術實現整體的提速。位置調節機構實現了自動化調節，代替了人工調節，效率大大提高，與高通量檢測的匹配度更高。
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    “一種基于范德堡法的高通量微區電學性能檢測系統及檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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