本申請涉及一種用于高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置,包括真空室、真空泵、真空計和電離規,所述真空室的內腔通過連接管與所述電離規連接,所述電離規靠近所述真空室的一端設有連接塊,所述連接管遠離所述真空室的一端設有供所述連接塊插入的連接槽,所述連接槽的槽壁上設有固定槽,所述固定槽內設有固定塊,所述固定塊可以在所述固定槽內滑移,所述連接管上設有驅動組件,所述驅動組件用于驅動所述固定塊與所述連接塊抵接。本申請具有方便安裝電離規的效果。
聲明:
“一種用于高真空冷陰極電離規的性能檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)