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    一種光波導微透鏡陣列的制備及光學性能檢測方法

    1111   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:25:11
    一種光波導微透鏡陣列的制備及光學性能檢測方法，先制備光刻膠微透鏡陣列，將聚二甲基硅氧烷與固化劑混合倒入光刻膠微透鏡陣列，固化剝離后得到凹透鏡陣列反模具；然后將凹透鏡陣列反模具覆于加熱的SU?8表面并快速壓印，冷卻剝離后得到SU?8微透鏡陣列；再用紫外光直接照射SU?8微透鏡陣列，制得光波導微透鏡陣列；然后在熒光觀察狀態下，在激光共聚焦顯微鏡中選擇熒光染料，設置掃描深度和掃描步長得到光波導微透鏡陣列的光路傳輸三維熒光圖像，通過分析聚焦光斑的分布面積，判斷是否在SU?8微透鏡陣列內誘導出了光波導結構；最后對光波導微透鏡陣列進行光學性能評估：本發明實現光波導微透鏡陣列的制備，并對光波導微透鏡陣列光學性能提供檢測與評估。
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