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    以無機鹽為前驅物LPCVD技術制備透明導電氧化物薄膜玻璃的方法

    1098   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:25:56
    本發明公開了一種以無機鹽為前驅物LPCVD技術制備透明導電氧化物薄膜玻璃的方法,包括玻璃清洗、光學檢測、鍍膜、性能檢測、成品制成5個步驟,其鍍膜方式為:將制備透明導電氧化物薄膜的金屬無機鹽前驅物配制成澄清飽和水溶液,利用鼓泡器和載氣N2將其溶液載入到LPCVD鍍膜室中,控制無機鹽前驅物與N2的流量比、鍍膜室中的壓力、鍍膜室溫度及玻璃基底溫度,在玻璃基底上沉積生成透明導電氧化物薄膜。本發明以金屬無機鹽代替有機前驅物制備透明導電氧化物薄膜玻璃,避免了有機物對膜層的污染,保證了鍍膜玻璃的優異性能,易于產業化,為透明導電氧化物薄膜玻璃的發展提供了一種新思路。
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