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    一種自動上下料系統

    924   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:27:32
    本發明涉及一種自動上下料系統，解決了常見的人工對晶圓片缺邊或者缺口位置進行查找，導致工作效率低下的問題，其技術方案要點是，包括：用于容置晶圓片的料盒；對所述料盒起到承載作用的、驅動所述料盒沿水平方向或豎直方向動作的驅動裝置；對所述驅動裝置起到承載作用的工作臺；承載于所述工作臺上的、位于所述料盒一側且用于定位所述晶圓片的缺邊或缺口位置的檢測組件；承載于所述工作臺且位于所述檢測組件一側的、用于承載所述晶圓片、以對所述晶圓片進行性能檢測的載臺；以及，機械手裝置，達到對晶圓片自動檢測以及定位、上下料的目的。
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    聲明：
    “一種自動上下料系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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