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    晶圓作業控制系統

    838   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:27:33
    本發明公開了一種晶圓作業控制系統，所述系統包括存儲模塊和執行模塊；所述存儲模塊儲存有各批次晶圓進行生產工藝時需要經過的腔室順序；其中一批次晶圓在進入一反應腔室進行生產工藝時，所述執行模塊讀取存儲模塊中儲存該批次晶圓需要經過腔室的順序并執行該操作，使得該批次晶圓分別在不同的腔室內完成所有的生產工序。技術人員通過本發明根據電學性能檢測結果可很快判斷出問題腔室所在及相應的生產設備，極大提高了發現問題工序的效率，同時還可根據實際情況及時調整各腔室內的工藝順序，以適應各種生產情況。
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    聲明：
    “晶圓作業控制系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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