極紫外光收集鏡系統的檢測裝置及應用該檢測裝置對極紫外光收集鏡系統進行裝配的方法,涉及光收集系統檢測領域。解決了現有的極紫外光收集鏡系統的集成性差、獲得極紫外光的功率低的問題。它包括光源出射器和收集鏡系統支撐架、CCD傳感器、傳感器支撐架和計算機;收集鏡系統支撐架上固定有極紫外光收集鏡系統,CCD傳感器位于傳感器支撐架上,且CCD傳感器和傳感器支撐架均位于收集鏡系統支撐架下方,CCD傳感器的數據信號輸出端與計算機的數據信號輸入端連接,光源出射器出射面光經極紫外光收集鏡系統掠入射反射后,匯聚至CCD傳感器,計算機用于測量CCD傳感器接收到的光斑和記錄光斑信息。用于對極紫外光收集鏡系統進行性能檢測。
聲明:
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