本發明涉及一種主動抑制寄生運動原理壓電驅動器回退運動的裝置與方法,屬于精密機械領域。裝置包括基座、動子單元、驅動單元、預壓力調整單元。動子單元安裝在基座的凸臺上;預壓力調整單元通過螺釘固定在基座上;驅動單元安裝在預壓力調整單元上。該方法通過驅動單元中的驅動壓電疊堆與提升壓電疊堆產生的協同作用,使得寄生原理壓電驅動器在驅動過程中壓力恒定,進而實現回退運動的主動抑制。優點在于:可顯著抑制回退運動,實現理想的步進運動,并能一定程度上消除系統非線性產生的影響,便于后續精密控制。在精密和超精密定位、精密測量、精密加工裝配、生物遺傳工程和材料表面性能檢測等領域有著廣闊的應用前景。
聲明:
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