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    檢驗閃存單元電性能的方法

    983   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:28:45
    本發明公開了一種檢驗閃存單元電性能的方法,包括下列步驟:對閃存單元做規定時間的存儲電子編程,通過測量閾值電壓,將達到規定參考值的閃存單元篩選出來作為第一批初步符合要求的閃存單元,隨后對篩選出的閃存單元進行一定時間的再次存儲電子編程,再對這些閃存單元進行烘培,最后再對經過烘培的這些閃存單元再次測量閾值電壓,判斷是否仍能夠維持在參考值,以此來確定閃存單元最終是否符合電性能要求。通過上述檢驗方法,能夠使得那些電性能處于臨界狀態的閃存單元由于再次存儲電子編程而獲得閾值電壓余量,彌補烘培造成的閾值電壓下降,從而使閾值電壓維持在參考值通過電性能檢測,因而提高產品良率。
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    聲明：
    “檢驗閃存單元電性能的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    物理檢測
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