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    光刻機投影物鏡像方視場的在線測量裝置

    1159   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:29:28
    本實用新型提供一種光刻機投影物鏡像方視場的在線測量裝置，屬于投影光刻性能檢測領域，旨在解決現有技術中由于投影物鏡像方視場較大、沒有足夠大尺寸的探測器直接在線測量的技術問題，其中，所述在線測量裝置包括探測器、掩模板、掩模臺和工件臺，所述掩模板的中心具有長方形孔，在線測量時，光束將掩模板的長方形孔經所述投影物鏡成像到像面處，所述探測器探測所述像面處的成像，所述在線測量裝置基于掩模板標記成像的方式，解決了現有技術中存在的投影物鏡像方視場較大、沒有足夠大尺寸的探測器進行直接測量的問題，實現了投影物鏡集成后像方視場的在線測試，且測量速度快、易于推廣應用。
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