本申請公開了一種自動光學檢測系統,包括第一圖像獲取設備、透明支撐膜和第二圖像獲取設備;第一圖像獲取設備和第二圖像獲取設備分別設置于透明支撐膜相對的兩側,第一圖像獲取設備的鏡頭和第二圖像獲取設備的鏡頭分別朝向透明支撐膜。本申請中,通過在透明支撐膜的上方和下方分別設置圖像獲取設備,當待測芯片放置于透明支撐膜上之后,第一圖像獲取設備和第二圖像獲取設備可以分別獲取芯片背面的圖像和正面的圖像,根據背面的圖像可以完成外觀檢測,根據正面的圖像可以完成光電性能檢測。由此,實現了一個工序采集芯片兩面的圖像,進而可以達到一次性檢測芯片兩面的目的,減少了生產工序,加快了生產節拍,節約了生產資源。
聲明:
“一種自動光學檢測系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)