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    研磨裝置

    726   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:31:25
    本發明提供一種無論工件的材質和雜質濃度等如何也能夠適當地實施工件形狀的測量的研磨裝置。該研磨裝置(1)使工件(W)與下定盤(11)及上定盤(12)相對旋轉并且由安裝在上下定盤(11、12)上的研磨墊(11a，12a)研磨工件(W)，其包括對工件(W)進行研磨的研磨機主體(10)和在工件(W)上照射測量光(X)并基于該測量光在工件(W)上反射而獲得的第一反射光(Y)、第二反射光(Z)來測量工件(W)的形狀的形狀測量裝置(20)。形狀測量裝置(20)具有射出測量光(X)的激光光源(21)和基于工件(W)的電阻率來控制作為照射工件(W)之前的測量光(X)的照射光(X′)的光量的光強度控制部(24)。
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