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    一種鎳鉻合金濺射靶材及其制備方法

    832   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:31:26
    本發明涉及一種鎳鉻合金濺射靶材的制備方法，所述制備方法包括：先對鎳鉻合金鑄錠進行致密化處理，再依次進行鍛造、退火、軋制、終端退火、機加工，得到鎳鉻合金濺射靶材。所述制備方法針對熔煉鑄造得到的鎳鉻合金鑄錠的內部缺陷問題，在熱塑性變形加工之前先進行致密化處理，有效避免了鎳鉻合金濺射靶材的內部缺陷問題，將成品率提高至90％以上；而且，制備得到的鎳鉻合金濺射靶材內部結構均勻，晶粒細小，晶?！?0μm，符合半導體等高精端產業的質量要求。
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    “一種鎳鉻合金濺射靶材及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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