本發明提供一種超穩定的銀鉭復合材料表面增強拉曼散射基底及其制備方法,采用磁控濺射沉積銀、鉭復合薄膜,將清洗干凈的單晶硅片抽真空并沉積鉻膜;控制電流強度,分別精確調控銀、鉭元素沉積速率,維持腔室反應壓力,持續濺射沉積銀、鉭元素形成雙金屬復合材料,有效提高銀的耐腐蝕性及穩定性,以實現超穩定的表面增強拉曼散射檢測。本發明提供的銀鉭復合材料基底通過在真空條件下進行磁控濺射制備,其表面無污染、清潔度高,有效提高了表面增強拉曼散射檢測的靈敏度和準確度。本發明制備過程簡單,比表面積大,成本低,便于工業化生產,能廣泛應用于表面增強拉曼散射傳感、金屬催化、納米探針、光電器件、太陽能電池,吸附材料等領域。
聲明:
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