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    一種適用于金屬絲鍵合的trench肖特基芯片及其加工工藝

    897   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:32:55
    一種適用于金屬絲鍵合的trench肖特基芯片及其加工工藝。涉及一種肖特基芯片及其加工工藝，尤其涉及一種適用于金屬絲鍵合的肖特基芯片及其加工工藝。提供了一種在芯片區域內增加平面鍵合區域，避免溝槽損傷的適用于金屬絲鍵合的trench肖特基芯片及其加工工藝。所述trench區域上還設有平面鍵合區，所述平面鍵合區為光滑平面，所述平面鍵合區上敷設表面金屬。所述trench區域的邊緣和平面鍵合區的邊緣分別設有保護環。所述溝槽的內壁經過氧化處理，形成二氧化硅層。本發明便于用戶使用，也便于生產者區分鍵合線路走向，使芯片連接更加直觀，便于查找故障點。
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