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    化學傳感器、化學傳感器模塊、化學物檢測裝置和化學物檢測方法

    779   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:35:10
    為了提供一種能夠高精度和高靈敏度地檢測化學物質的化學傳感器、化學傳感器模塊、化學物檢測裝置和化學物檢測方法。根據本發明實施例的化學傳感器設置有基板、低折射率層、高折射率層和光檢測部。所述低折射率層層疊在所述基板上且具有小于第一折射率的第二折射率，所述第一折射率是待檢測物的折射率。所述高折射率層層疊在所述低折射率層上，具有小于所述第一折射率的第三折射率且包括用于保持所述待檢測物的保持面。此外，照明光在所述高折射率層中傳播。所述光檢測部設置在所述基板上并且對借助于所述照明光從所述檢測目標物生成的待檢測光進行檢測。
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