本發明提供一種納米流體設備,其具備第一基板和第二基板,所述第一基板在一個面上具有納米尺度的槽,所述第二基板是對第二基板與該第一基板彼此相對的一個面之間進行接合而一體化設置,并且與前述第一基板的槽共同形成納米流路,其中,前述第一基板或前述第二基板中的任一者,在俯視時與前述納米流路重疊的位置的一部分中至少具有薄壁部,前述薄壁部通過按壓而產生變形,由此來打開/關閉前述納米流路。
聲明:
“納米流體設備以及化學分析裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)