本發明提供了一種能夠高精度地檢測生物分子的化學傳感器、生物分子檢測裝置和生物分子檢測方法。根據本發明的化學傳感器包括基板、光學層和中間層。在所述基板上形成有平面狀配置的多個光電二極管。所述光學層層疊在所述基板上,并且在所述光學層內形成有將入射光引導到所述各光電二極管的波導。所述中間層層疊在所述光學層上,并且在所述中間層上針對每個波導形成有能夠保持探針材料的探針保持區域。
聲明:
“化學傳感器、生物分子檢測裝置和生物分子檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)