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    基于淺溝道隔離技術的化學機械研磨終點檢測方法及系統

    1131   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:36:26
    本發明實施例提出了一種基于淺溝道隔離技術的化學機械研磨終點檢測方法，包括：建立晶圓表面微元與研磨墊間相對滑動速度和微元所受摩擦力之間的函數方程；求解函數方程，將微元所受摩擦力代入研磨墊轉矩公式，建立晶圓和可調節研磨墊轉矩與研磨驅動裝置機械參數間的函數關系；依據材質差異所導致的摩擦系數的不同，分析研磨墊表面特征對晶圓形貌變化的影響，通過研磨墊轉矩與研磨驅動裝置機械參數間的函數關系識別研磨終點，實現終點檢測。本發明提出的上述方案，通過考察晶圓和研磨墊間的摩擦因素來分析轉矩變化，深入分析研磨工藝制程中晶圓與隨機波動粗糙墊板間的相互作用關系，直接通過研磨墊轉矩即可識別因材質差異所導致的研磨去除率的不同，從而可以靈活地實現終點檢測。
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