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    檢測SiGe材料在電化學沉積過程中帶隙變化的方法

    760   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:36:27
    本發明提供一種檢測SiGe材料在電化學沉積過程中帶隙變化的方法，屬于SiGe電沉積制備方法領域。該方法利用原位光譜電化學技術，觀察沉積過程中SiGe材料吸收光譜的變化，分析沉積過程及SiGe帶隙變化；本發明利用離子液體電沉積技術與原位光譜電化學法的結合，使用無毒無污染的綠色離子液體[EMIm]Tf2N+GeCl4+SiCl4做為電解液，調控電化學沉積步驟及吸收光譜測量，原位表征SiGe在離子液體中的電沉積過程，本方法利用了半導體能夠強烈的吸收光能，通過吸收光譜的變化可以反映出電化學沉積過程進行的快慢、沉積過程中帶隙的變化。該檢測方法工藝簡單，操作方便，易于實現。
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    聲明：
    “檢測SiGe材料在電化學沉積過程中帶隙變化的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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