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    化學機械拋光檢測裝置

    987   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:36:28
    本實用新型公開一種化學機械拋光檢測裝置及其檢測方法，涉及化學機械拋光技術領域，包括對透明的工件進行夾持的工件夾持部、用于帶動拋光墊轉動的驅動部及其用于對拋光墊的表面形貌進行圖像采集的圖像采集部，工件加持部上設置有壓力傳感器，壓力傳感器用于測量工件在拋光壓力作用下由于法向位移而產生的法向壓力；本實用新型利用圖像采集裝置實時捕捉拋光界面間拋光墊的表面形貌，結合對拋光界面受力情況的監測，能夠分析得到拋光墊表面摩擦系數變化情況，及其摩擦系數變化與研磨顆粒分布變化、磨損變化等參數之間的關系，解決了無法將拋光界面磨粒分布、拋光墊形貌與界面摩擦特性進行關聯的技術問題。
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    聲明：
    “化學機械拋光檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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    化學分析
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