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    檢測鎢塞化學機械拋光工藝的測試結構

    702   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:36:28
    本發明提供一種檢測鎢塞化學機械拋光工藝的測試結構,其中,該測試結構包括多個模塊,其上分布有鎢塞,鎢塞大小相同,每個模塊上鎢塞分布的密集度不同。所述結構中每個模塊的面積相等,鎢塞之間的間隔依次增大,每個模塊上的鎢塞個數依次減少,每個模塊上鎢塞密度不同。將鎢塞劃分為鎢塞組,通過改變鎢塞組的分布改變每個模塊鎢塞的分布密集度,每個模塊上鎢塞組分布的密集度不同。與現有技術相比,本發明提供的測試結構可以更清晰地看到侵蝕、邊緣過侵蝕與鎢塞密度、面積大小的關系,并且同時提供了對凹陷、鎢清除能力的檢測。
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    聲明：
    “檢測鎢塞化學機械拋光工藝的測試結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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