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    銅化學機械研磨終點檢測裝置及方法

    1091   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:38:38
    一種銅化學機械研磨終點檢測方法，包括：提供半導體襯底，所述半導體襯底表面形成有待研磨結構，所述結構的材料含有銅；對所述待研磨結構進行化學機械研磨，并產生研磨副產品；混合所述研磨副產品與顯色劑，并測量所述研磨副產品與研漿以及顯色劑的混合物的吸光度；根據所述研磨副產品與研漿以及顯色劑的混合物的吸光度計算所述研磨副產品與研漿以及顯色劑的混合物中銅的含量，并通過所述研磨副產品與研漿以及顯色劑的混合物中銅的含量檢測是否到達研磨終點。相應地，本發明還提供一種銅化學機械研磨終點檢測裝置，以及銅化學機械研磨方法。通過本發明可以精確檢測銅化學機械研磨的終點。
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