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    化學機械研磨機臺缺陷檢測方法

    750   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-19 06:38:41
    本申請提供的一種化學機械研磨機臺缺陷檢測方法，通過利用待檢測的化學機械研磨機臺研磨將具有第一厚度的氧化硅膜層研磨成具有第二厚度的氧化硅膜層，這樣待檢測的化學機械研磨機臺的缺陷會導致所述具有第二厚度的氧化硅膜層上具有缺陷，可以直接檢測具有第二厚度的氧化硅膜層上的缺陷，避免了對待檢測的化學機械研磨機臺進行檢測的復雜的步驟。進一步的，在所述具有第二厚度的氧化硅膜層上形成第二膜層，由于所述第二膜層的透明度小于所述具有第二厚度的氧化硅膜層，在去除所述第二膜層過程中，所述第二膜層的顆粒會殘留在所述缺陷內，使所述缺陷的邊界更加明顯，這樣在對缺陷檢測時，可以使缺陷更加容易的被檢測到，可以大大的降低漏檢的可能，提高了檢測的準確度。
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    “化學機械研磨機臺缺陷檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    化學分析
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